שוחקים הוא הגוף העיקרי להסרת חומרים בטכנולוגיית פוליש סילון מים שוחק.לצורתו, לגודלו, לסוגו ולפרמטרים נוספים יש השפעה ישירה על יעילות העיבוד ואיכות פני השטח של חומר העבודה המעובד.סוגי החומרים השוחקים הנפוצים כיום הם: SiC, Al2O3, CeO2, נופך וכו'. באופן כללי, ככל שהקשיות של גרגרי השוחקים גדולה יותר, כך ניתן לשפר את קצב הסרת החומר וחספוס פני השטח.
בנוסף, ישנם גם הגורמים הבאים שישפיעו על איכות הליטוש:
① עגולות: ההשפעה של עגול חלקיקים שוחקים על העיבוד.התוצאות מראות שככל שעגלגלות השוחקים גדולה יותר, מהירות היציאה גדולה יותר, קצב הסרת החומר גבוה יותר, והבלאי של הזרבובית קטן יותר.
② אחידות: ההשפעה של אחידות גודל החלקיקים על מאפייני הסרת הסילון.התוצאות מראות שהתפלגות קצב הסרת הפגיעה של חלקיקים בגדלים שונים של חלקיקים דומה, אך קצב הסרת הפגיעה פוחת עם הגידול בגודל החלקיקים.
③גודל חלקיקים: ההשפעה של גודל חלקיקים שוחקים על הסרת החומר.כאשר מגדילים את גודל החומר השוחק, החתך של החומר שהוסר משתנה מצורת W לצורת U.באמצעות ניתוח ניסיוני, המסקנה היא שהתנגשות בין חלקיקים היא הגורם העיקרי להסרת החומר, ומשטחים מלוטשים בקנה מידה ננו מוסרים אטום-אטום.